ВАКУУМНО-ДУГОВАЯ УСТАНОВКА ВДНУ

Установка предназначена для нанесения функциональных (износостойких, антикоррозионных, термостойких, антифрикционных, антиэмиссионных, защитных и др.) покрытий на крупногабаритные элементы космической техники (трубы, листы, антенны и пр.). Она обеспечивает вакуумную откачку, нагрев и финишную ионную очистку напыляемых изделий, генерацию газовой среды, требуемой для проведения технологических процессов напыления, нанесение покрытий на три вида изделий:

– трубы длиной от 1 м до 3 м, диаметром от 10 мм до 60 мм с максимальной загрузкой 40 штук,

–листы размерами 2м х 1м, с максимальной загрузкой 5 штук,

– антенны диаметром до 2 м.

Технические характеристики ВДНУ

Вакуумная камера (нержавеющая сталь, водоохлаждаемая):

внутренний диаметр, мм 2400

внутренняя длина, мм 4400

Вакуумная откачка (на основе криосорбционных насосов)

Вакуумно-дуговая напылительная установка ВДНУ 5x10^-4

время откачки до предельного остаточного давления, час 1

Внутрикамерный нагрев изделий (с возможностью регулировки):

максимальная мощность, кВт 55

максимальная температура нагрева изделий, °С 400

Система подачи технологических газов:

(4 канала), см³/мин 0-1000

Механизмы внутрикамерного перемещения изделий:

держатель для труб (длиной до 3 м, диаметром до 60мм), обеспечивающий их планетарное внутрикамерное перемещение,

держатель для листов (длиной до 2 м, шириной до 1 м) обеспечивающий их внутрикамерное вращение,

держатель для антенны (диаметром до 2 м) обеспечивающий ее внутрикамерное вращение.

Система источников ионной очистки изделий: 11 источников ионной очистки с возможностью регулировки ионного тока и ускоряющего напряжения

ток ионного пучка, мА 150 ± 30

рабочее ускоряющее напряжение, кВ 1 - 4

Система электродуговых источников металлической плазмы (11 электродуговых источников с возможностью регулировкитока дуги и распределения плазменного потока):

рабочий ток, А 40 - 130

рабочее напряжение, В 25 - 35

Источник импульсного напряжения смещения, подаваемого на изделие:

напряжение импульса, В 0 - 1000

ток импульса, А 0 - 70

частота следования импульсов, Гц 25 - 25000

коэффициент заполнения импульса, % 5 - 50

Система общего электропитания и управления установкой:

программно-логическое управление вакуумной

откачкой, работой ионных и дуговых источников,

возможность компьютерного управления установкой.

максимальная потребляемая мощность, кВт 150

максимальный расход воды, м³ /час 6,2

Публикации:

1. В.В. Иванов, Д.А. Карпов, В.А. Крылов, В.М. Лисичкин, В.Я. Моисеев, С.Г. Саксаганский, А.А. Филиппов, Ren Ni, Ma Zhanji, Вакуумно-дуговая напылительная установка ВДНУ (разработка, изготовление, эксперименты). Вопросы атомной науки и техники, серия «Электрофизическая аппаратура», СПб.: НПО «Профессионал», 2005, Вып.3(29), стр. 116-125.

Поставки:

Название продукта Год поставки Заказчик страна

Вакуумно-дуговая напылительная установка ВДНУ 2004 Всекитайская импортно-экспортная компания точного машиностроения Китай