СТЕНД ПЛАЗМАТЕХ-М
Предназначен для отработки новых ионно-плазменных технологий, а также по оказанию услуг по ионному азотированию, плазменной обработке и нанесению различных функциональных и декоративных покрытий.
 |
Возможности стенда:
Ионное азотирование, плазменная обработка поверхности, нанесение покрытий для обеспечения поверхностных свойств материалов:
- износостойких,
- антикоррозионных,
- термостойких,
- защитных,
- антиэмиссионных,
- декоративных.
Подобные свойства обеспечиваются
1. ионной и плазменной обработкой поверхности
2. нанесением покрытий:
- любых металлов
- нитридов металлов
- карбидов металлов
- оксидов металлов
- углеродными покрытиями
Реализуемые методы:
- ионное азотирование
- обработка в плазме тлеющего и аномально тлеющего разряда
- обработка катодными пятнами вакуумной дуги
- вакуумно-дуговое нанесение покрытий (с сепарацией от микрокапель и микрочастиц и без сепарации)
- магнетронное нанесение покрытий (в стационарном и импульсном режиме, включая технологию HIPIMS)
Состав и основные технические характеристики стенда:
• водоохлаждаемая вакуумная камера объёмом 1 м3
• система безмасляной вакуумной откачки, обеспечивающая фоновое давление 5*10-5 Па
• система внутрикамерного нагрева образцов с непосредственным контролем температуры
• четырехканальная система газонапуска и поддержания давления технологических газов
• система подачи напряжения смещения на подложку
• система ионной и плазменной обработки образцов (в тлеющем и аномально тлеющем разряде, в плазме вакуумной дуги, с помощью специальных ионных источников)
• система плазменного осаждения покрытий (с использованием электродуговых, магнетронных источников плазмы и устройства сепарирования плазменных потоков)
Особенность стенда: возможность реализации процессов ионной и плазменной обработки поверхности материалов в различных технологических комбинациях.
Диагностическое и вспомогательное оборудование стенда:
• сканирующий электронный микроскоп Phenom 3G ProX с возможностью 100.000 кратного увеличения и определения химического состава (в массовых долях) исследуемых образцов (как для электропроводящих так и для неэлектропроводящих материалов)
• металлографический микроскоп МЕТАМ ЛВ-41 с увеличением до х2000 и возможностью получения цифровых изображений с лицензированным ПО МикроАнализPro для обработки и анализа изображений
• трибометр Calowear (CSM Instruments) для определения толщин покрытий (>100нм) и коэффициента износа покрытий истиранием (по схеме вращающийся шар на плоской подложке)
• микротвердомер ПМТ-3М с диапазоном нагрузки от 0,0196 до 4,9 Н
• отрезной высокоточный станок для подготовки шлифов
• шлифовально-полировальный станок для подготовки шлифов
• ультразвуковая ванна для предварительной очистки образцов
• сушильный шкаф (до 500С) для термообработки образцов
Публикации:
1. Д.А. Карпов, В.Н. Литуновский «Многослойные наноструктуры и нанокомпозиты - новое поколение покрытий для модификации поверхностных свойств материалов», Обзор О-103, СПб.: ФГУП «НИИЭФА им. Д.В. Ефремова», 2008, 93 с. с ил.
2. Д.А. Карпов, В.Н. Литуновский «Плазменно-иммерсионная ионная имплантация (ПИИИ): физические основы, использование в технологиях», Обзор О-104, СПб.: ФГУП «НИИЭФА им. Д.В. Ефремова», 2009, 65 с. с ил.
3. Д.А. Карпов, В.Н. Литуновский «Нетрадиционные технологии модификации поверхностных свойств материалов концентрированными потоками энергии», Обзор О-105, СПб.: ФГУП «НИИЭФА им. Д.В. Ефремова», 2012, 27 с., с ил.
