СВЕТЛАНА
ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР
Электроразрядный эксимерный KrF- и ArF-лазер Светлана с бестиратронной системой питания, генерирующий импульсы излучения в ультрафиолетовом диапазоне спектра, предназначен для использования в технологических и исследовательских целях, а также в составе установок для контроля состояния окружающей среды.
Лазерная среда | ArF | KrF |
Длина волны излучения, нм | 193 | 248 |
Максимальная энергия в импульсе, мДж | 250 | 680 |
Максимальная частота следования импульсов, Гц | 200 | 300 |
Максимальная средняя мощность, Вт | 40 | 115 |
Длительность импульса излучения (по полувысоте), нсек | 30 | 33 |
Сечение светового пучка на выходе из резонатора, мм | 27x6 | 27x11 |
Стабильность излучения, % | 2 | 2 |
Расходимость излучения | 4.0x1.5 | 4.0x1.5 |
Максимальная потребляемая мощность, кВт | 8 | 8 |