МАГНЕТРОННАЯ РУЛОНО-ПРОКАТНАЯ НАПЫЛИТЕЛЬНАЯ УСТАНОВКА (МРПНУ)

Установка предназначена для осаждения металлических покрытий и их оксидных, нитридных и карбидных соединений на полимерные рулонные материалы (лавсан, полимиид, тефлон и др.) для термоизоляции космических объектов и производства гибких солнечных батарей нового поколения.

Установка обеспечивает: высоковакуумную откачку, натяжение и перемотку рулонного материала, генерацию газовой среды, необходимой для технологического процесса, очистку и активацию поверхности рулонного материала перед нанесением покрытия, нанесение покрытия системой магнетронных источников, контроль толщины покрытия в режиме реального времени.

МНРПУ

Технические характеристики установки:

Диаметр камеры, мм 1600

Длина камеры, мм 1725

Ширина полимерной пленки, мм, до 1200

Толщина полимерной плёнки, мкм 6 - 200

Диаметр рулона пленки, мм, не более 400

Линейная скорость пленки, м/мин 1-10

Неравномерность покрытия по длине и ширине пленки, %, не более 10

Количество магнетронов, шт 3

Мощность блоков питания магнетронов, кВт 3 x 10

Количество ионных источников, шт 1

Время откачки камеры (без рулона) до давления 5х10-3 Па, мин 2 x 10-3

Предельное остаточное давление в камере, Па 30

Количество криосорбционных насосов НВК630-20, шт. 2

Общая откачная способность криосорбционных насосов, л/сек 40000

Полный вес установки, кг 16000

Полная потребляемая мощность кВт 160

Система компьютерного управления обеспечивает проведение всех этапов технологического процесса в автоматическом режиме

Публикации:

А.Г. Иванов, Д.А. Карпов «Оптимизация технологического процесса осаждения функциональных покрытий на рулонные материалы магнетронным распылением в крупномасштабной вакуумной установке» (Материалы 16-й международной научно-практической конференции «Технологии упрочнения, нанесения покрытий и ремонта: теория и практика», СПб.: Изд-во Политехн. ун-та, 2014 г., часть 1, стр. 232-238).

Поставки:

Магнетронная рулоно-прокатная напылительная установка, год поставки - 2015г., заказчик – Всекитайская импортно-экспортная компания точного машиностроения, страна – Китай.