ПЛАЗМЕННЫЕ УСКОРИТЕЛИ ДЛЯ МАТЕРИАЛОВЕДЧЕСКИХ ИССЛЕДОВАНИЙ И ТЕХНОЛОГИИ

Электродинамические плазменные ускорители (ПУ) с импульсным напуском рабочего газа позволяют перекрывать широкий диапазон значений параметров плазменного потока, что позволяет использовать их в различных областях науки и техники. В НИИЭФА разработано несколько модификаций подобных ПУ с экстремально высокими значениями плотности энергии в плазменном потоке (до 12 кДж/см2). Эти ПУ используются в экстремальных установках для тестирования повреждаемости кандидатных материалов термоядерного реактора (установки ВИКА, СПРУТ). ПУ с меньшими значениями удельной энергии (100 Дж/см2) могут эффективно использоваться в установках плазменной технологии для модификации поверхности слоя металлов с целью упрочнения, увеличения коррозионной стойкости, полировки керамических поверхностей и пр., а также в технологических операциях микроэлектроники (имплантация ионов с одновременным отжигом).

Технические характеристики	Значения
Диаметр плазменного потока, см	3 - 10
Поток частиц, 1/см²с	около 1024
Плотность энергии в потоке, Дж/см²	10 - 104
Энергия ионов, эВ	<=250
Длительность импульса, сек	10-4 - 10-3
Режим работы	импульсный